STAGE - Dév. et caract. de procédés de nettoyage des réacteurs de de gravure par plasma M/F

Description de l'offre

General information

Reference

2020-8076  

Job level

30 - Graduate Entry Level

Position description

Posting title

STAGE - Dév. et caract. de procédés de nettoyage des réacteurs de de gravure par plasma M/F

Regular/Temporary

Temporary

Job description

Afin de répondre aux préoccupations environnementales dans l’industrie de la micro-électronique, l’équipe de gravure de STMicroelectronics met en place un programme d’éco-conception visant à développer des procédés permettant de réduire les émissions en PerFluoro-Carbone (PFC). Il a été démontré que les procédés de nettoyage des réacteurs de gravure constituent l’émetteur majoritaire de PFC parmi les procédés de gravure sèche (fréquence et utilisation de gaz à fort GWP (Global Warning Potential – kg-CO2 équivalent). L’objectif de ce stage, qui se déroulera chez notre partenaire, le CEA-LETI, portera sur l’évaluation de nouveaux gaz à plus faible GWP pour ces étapes de nettoyage par plasma.

 

Rattaché(e) au laboratoire d’accueil CEA/LETI/DPFT/SPAT/LGRA, votre mission consistera à développer, tester et caractériser un procédé de nettoyage par plasma des réacteurs de gravure sèche avec de nouveaux mélanges gazeux.

Une première phase passera par la mise en place d’un protocole expérimental permettant de comparer le procédé actuellement utilisé avec les nouvelles recettes étudiées en termes d’efficacité à retirer tous les composés déposés sur le réacteur après les étapes de gravure.

Vous devrez ensuite vous assurer que ce nettoyage couplé à un conditionnement du réacteur garantira la reproductibilité du fonctionnement de l’équipement (pas d’apport de contamination et stabilité des vitesses de gravure).

Vous aurez à votre disposition tous les moyens de caractérisation morphologiques et physico-chimiques disponibles sur la plate-forme, pour comprendre tous les mécanismes mis en jeu (ellipsométrie, AFM, XPS). Enfin, vous ferez une recommandation d’un procédé optimisé pour un transfert technologique du CEA LETI vers nos installations de production. Tous les résultats et analyses seront consolidés par une étude bibliographique sur le sujet.

Profile

·  Bonnes connaissances en Physique des Matériaux
·  Autonome, rigoureux (se)  et organisé(e) .
·  Ouvert (e)  d’esprit et curieux (se).
·  Esprit d’équipe et bon relationnel

Position localisation

Job location

Europe, France, Crolles

Candidate criteria

Education level required

5 - Master degree

Experience level required

Less than 2 years

Languages

English (2- Business fluent)

Requester

Desired start date

01/02/2021